空間飛輪是三軸穩定衛星姿態控製的執行機構之一,它直接影響著衛星(xīng)的精度和(hé)壽命(mìng)。軸係是(shì)飛輪本體的關鍵組件,工作在高真空、高低溫交變(biàn)的特殊(shū)環境。軸承是飛輪(lún)的承(chéng)載(zǎi)件,在低速運行時,軸承滾珠和滾道間處於邊界潤滑狀態,容(róng)易發(fā)生疲勞磨損壞。
類金剛石薄膜是一種短程有序而長程無序、具有非晶態和微晶結構的含氫(qīng)碳(tàn)膜,是人工合成的含有sp碳和(hé)sp碳混雜的非晶亞穩態結構(gòu)。它具有類似(sì)金剛(gāng)石膜的高硬度(dù)、高化學穩定性、高熱傳導(dǎo)率、高電阻(zǔ)率、高耐磨和抗腐蝕性、優異的生物兼容性,以及特(tè)有的、比金剛石膜更好的極低真空摩擦因數等特性,因(yīn)而在光學、機械、熱學、聲學、生物醫(yī)學、電(diàn)子、計算機硬盤和紅外光(guāng)窗口等領域具有廣闊的應用前景。
等離子體浸離子注與沉積技術同傳統的離子(zǐ)注人技術相比具有費用(yòng)低、非(fēi)視線性薄膜厚度可控和能(néng)處理大(dà)靶、複雜形狀靶(bǎ)等優點,采用等(děng)離子體浸離子(zǐ)注人(rén)與沉積技術將類金剛石薄膜沉(chén)積在軸承鋼上,軸承鋼(gāng)的摩擦(cā)因數由087下降到0.1摩擦磨(mó)損性能得到較大改善。
軸承內外圈十無氫類金剛石(DLC)沉積。軸承內外圈(quān)無氫類金剛石(DLC)沉積工藝(yì)中,無(wú)氫類金剛石(DLC)沉積過程中,高壓脈衝寬度小於脈(mò)衝(chōng)陰極弧放電脈衝的寬度,從而使膜層中既存在右墨(無高壓脈衝情況下形(xíng)成)又存在金剛石(shí)結構。
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