塗層產品在各個領域（yù）都有廣泛應用，是常用的固態薄膜，可以作為防護、絕緣以及裝修等用處，其製備方法主要是選（xuǎn）用（yòng）物理堆積技能或化學（xué）堆積技能將金屬或非（fēi）金屬化合物塗鍍於基體材料上，構成鍍層。不過，塗層製（zhì）造會產生內部應力（lì），影響（xiǎng）塗層運用，導致失效。因此，要（yào）采取（qǔ）相應措施消除或削弱塗層結構內部的應（yīng）力，避免應力引起的各種（zhǒng）失效。

一（yī）、挑選合適基體

要消除（chú）塗層中的熱應力，根本方（fāng）法就是（shì）選用熱膨脹係數相同的塗（tú）層和基體（tǐ）材料（liào）。其次是讓成膜溫度與塗層的測量溫度或運用溫度相同。此外，熱應力（lì）作為薄膜應力的一部分，受（shòu）溫度的影響而（ér）易於操控，這樣通過熱應力的改動與本征應力互相作用，調整（zhěng）薄膜的微觀（guān）應力，或（huò）許起到改進應力的作用。

二、做熱退火處理

塗層中存在的各種缺陷是（shì）產生本征（zhēng）應力的主（zhǔ）要原因。這些缺陷一（yī）般（bān）都（dōu）對錯平衡缺陷，故有自行消（xiāo）失的傾（qīng）向。但是，要產生消失（shī），需求外界處以活化能。在對塗層進（jìn）行熱處理時，外界處以熱能，非平（píng）衡（héng）缺陷許多消失，因此塗層內應力明顯下降。

三（sān）、添加中心塗層

在塗鍍多層高反、增透或其它（tā）介質膜的過程中，膜料應力性質相同，這樣就會增大整個膜（mó）層的應力，導致（zhì）塗層決裂或掉落（luò）。使用應變（biàn）相消的原理，在膜層與膜層之間再堆積一層薄膜，操控工藝使（shǐ）膜內出現與結構（gòu）塗層相反的應力（lì）狀態，來緩解應力帶來的損壞作用。

別的，當基體和塗層的材料性質（zhì）不同過大時，即界麵性質不一致，其互相作用就大，這種作（zuò）用力有使兩種材料結構類似的作（zuò）用趨（qū）勢，因此塗層內產生很大的變形，構成內應力。這種狀況可先對基體進行表麵處理，即添（tiān）加亞層，增大表麵的濕潤性，對塗層和（hé）基體的結構起到過渡作用，保持結（jié）構的連續性，然後減小應力。

　四、改動工（gōng）藝參數

堆積過程中工藝參數（shù）的改動（dòng）會直接影響薄膜中的剩下應（yīng）力水平（píng），通過調整鍍膜時的基底溫度（dù）、作業氣壓、堆積速率等工藝參數可以操控薄膜中應力的大小，甚（shèn）至會改動應力的性（xìng）質。

例如，對於濺射鍍膜，跟（gēn）著反應腔內濺射氣壓的增大，高（gāo）能離子(粒子)的（de）濃度增大，使得氣體分子安閑（xián）程減小，存在嚴峻互相碰撞的散射現象（xiàng），然後（hòu）減小了氣體分（fèn）子的能量，原子噴丸效應削弱，增大了堆積粒子流的傾斜分量，致使（shǐ）膜結（jié）構疏鬆，壓應力越來越小，變為張應力，張應力先增大再減小。

五、改進堆積技能

在磁控濺射堆（duī）積塗層過程中，跟著射頻源功率的改動，堆積原子的動能也產生改動，界麵分散層結（jié）構和膜層結構的缺陷濃度也隨之改動。因此，塗層內的剩（shèng）下應力就會（huì）產生改動。