DLC薄膜通常是非晶的,由sp2(石墨)和sp3(金(jīn)剛石)相的混合物組成。膜性能的控製強烈地依賴於所選擇的沉積技術(shù)(PVD濺射或蒸發和Pa-CVD)的通量特性、膜(mó)內的金屬和氫含量、sp2:sp3比、襯底偏置電壓、離子能量(liàng)和離子密度以及襯底溫度(dù)。DLC膜對鋼的摩擦(cā)係(xì)數一般在0.05-0.20之(zhī)間,而膜硬度和sp3含量可以根(gēn)據具體(tǐ)應用而定製。含金屬和氫的DLC(Me-DLC或a-C:H:Me)在500-2000HV範(fàn)圍內(nèi)具有35%SP3的(de)硬度,無金(jīn)屬DLC(C-DLC或(huò)a-C:H)通常為1500-4000HV和高達(dá)75%SP3,而四(sì)麵體非晶碳(ta-C)在4000-9000HV範圍內具(jù)有80-85%SP3。
鋁及其合金材料(liào)具有重量輕、強度大、加工方(fāng)便的特性,在當今工(gōng)業領域(yù)具有廣(guǎng)泛的應用(yòng)。但是(shì)由於鋁本身比較活潑的化學特性,其在應用中常常麵臨受環境影響快速腐蝕進而(ér)失效(xiào)的問題。因此,對鋁及其合金進行(háng)表麵處理,從而隔絕基材與環境,對於提高其耐磨加硬自潤滑能力非常重要。鋁及其合金在各領域應(yīng)用(yòng)的深(shēn)入,對於耐磨加(jiā)硬性塗層本身(shēn)也提出了各種更高的要求,例如更強的自潤滑能力、耐磨性(xìng)、表觀的均勻性及耐溫性等等。
經DLC表麵處(chù)理的鋁件零件,其耐磨性會明顯(xiǎn)提高,DLC技(jì)術為鋁及其合金的耐磨加硬提供了一種選擇。因此DLC表麵處理(lǐ)工藝在機(jī)械工(gōng)業受到高度重視,以模具鋼為,經過DLC表麵處理的高速鋼在不同條件下摩擦磨損性能的差異,采用失重法評(píng)估耐磨性,試(shì)驗結(jié)果表明:在高速和低速摩擦磨損試驗條件下,無論在油潤滑狀態(tài)還(hái)是在幹摩擦狀態(tài),經DLC表麵處理後(hòu)高速鋼的耐磨性能都有明顯的提(tí)高。
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