防靜電 DLC 塗層是一種具有防靜電功能的類金剛石碳塗層，以下是關於它（tā）的介紹：

原理

增加電（diàn）子傳導通道：通過調整 DLC 塗層的成分或結構，引（yǐn）入具（jù）有良好導電性的物（wù）質或形成（chéng）特定的微觀結構，為電子提（tí）供傳導通道，使物體（tǐ）表麵產生的靜電能（néng）夠快速傳導（dǎo）到其他部位，避免靜電積聚。

降（jiàng）低表麵（miàn）電阻：改變塗層表麵的電學性質，使表麵電阻降低到一定程度，從而讓（ràng）靜電能夠更容易地散逸。

性能特點

防靜電性能穩定：可（kě）將靜電放電值（ESD）穩定在一定範圍內，如有的防靜電 DLC 塗層 ESD 平均值能達到（dào） 1e7ω/sq 以上。

兼具 DLC 塗（tú）層的（de）優良特性：具有高硬度，維氏硬度測試值通常在 5000-9000hv 之間，能有效抵抗磨損；低摩擦係數，可減少部件間的（de）摩擦損耗；良好的化學穩定性，能抵禦酸、堿（jiǎn）等化學物質的侵蝕。

絕緣性可調（diào）節：通過工（gōng）藝（yì）控製和成分調整，可使塗層在具有防靜電性能的同時，具備一定的絕（jué）緣性能（néng），滿足不同（tóng）應用場景對電學性能的要求。

應（yīng）用領域

半導體行業：用於半導體生產（chǎn）設備、晶圓承載（zǎi）器、夾具等（děng），防止（zhǐ）靜（jìng）電對半導體芯片、電子元器件造成損害，保證生產過程（chéng）的穩定性和產品（pǐn）質量。

電子設備製造（zào）：如手機、電（diàn）腦、平板等電子設備的外（wài）殼、內部零部件，可防止靜電積累導致的電路故障、屏幕靜電吸（xī）附灰塵等（děng）問題（tí），提升設備的（de）性能（néng）和可（kě）靠性。

光學領域：在（zài）光學鏡頭、顯示屏等表麵塗覆，既（jì）能（néng）防靜電又能保護光學（xué）元件，減少灰（huī）塵吸（xī）附，提高光學性能和顯示效（xiào）果。

醫療設備：醫療儀器、手術器械、醫療植入物等（děng）表麵使用防靜電 DLC 塗層，可防止靜電（diàn）對人體組織和電（diàn）子元件的不良影響，同（tóng）時利用其生物相容性（xìng）和耐磨性等（děng）特（tè）性，提高（gāo）醫療設備（bèi）的安全性和使用（yòng）壽命。

製備方法

物理氣相沉積（PVD）：如濺射法、電弧離子鍍等，將碳源（yuán）物質蒸發或濺射到基（jī）底表麵形成 DLC 薄膜，通過控製工藝參數和（hé）添加特定元素，實（shí）現防靜電性能。

化學氣相沉積（CVD）：如等離子增強化學（xué）氣相沉積（PECVD），在沉積過程中引入射頻等離子體（tǐ），增（zēng）強反（fǎn）應（yīng）活性，在相（xiàng）對較低的溫度下生長出具有防靜電功能的 DLC 塗層。