一種具(jù)有防靜電功能的(de)類金剛石(shí)碳塗層
來源:技術支持 | 發布(bù)日期:2025-02-12

防靜電 DLC 塗層是一種具有防靜電功能的類金剛石碳塗層,以下是關於它(tā)的介紹:

原理

增加電(diàn)子傳導通道:通過調整 DLC 塗層的成分或結構,引(yǐn)入具(jù)有良好導電性的物(wù)質或形成(chéng)特定的微觀結構,為電子提(tí)供傳導通道,使物體(tǐ)表麵產生的靜電能(néng)夠快速傳導(dǎo)到其他部位,避免靜電積聚。

降(jiàng)低表麵(miàn)電阻:改變塗層表麵的電學性質,使表麵電阻降低到一定程度,從而讓(ràng)靜電能夠更容易地散逸。

 

性能特點

防靜電性能穩定:可(kě)將靜電放電值(ESD)穩定在一定範圍內,如有的防靜電 DLC 塗層 ESD 平均值能達到(dào) 1e7ω/sq 以上。

兼具 DLC 塗(tú)層的(de)優良特性:具有高硬度,維氏硬度測試值通常在 5000-9000hv 之間,能有效抵抗磨損;低摩擦係數,可減少部件間的(de)摩擦損耗;良好的化學穩定性,能抵禦酸、堿(jiǎn)等化學物質的侵蝕。

絕緣性可調(diào)節:通過工(gōng)藝(yì)控製和成分調整,可使塗層在具有防靜電性能的同時,具備一定的絕(jué)緣性能(néng),滿足不同(tóng)應用場景對電學性能的要求。

dlc塗層

應(yīng)用領域

半導體行業:用於半導體生產(chǎn)設備、晶圓承載(zǎi)器、夾具等(děng),防止(zhǐ)靜(jìng)電對半導體芯片、電子元器件造成損害,保證生產過程(chéng)的穩定性和產品(pǐn)質量。

電子設備製造(zào):如手機、電(diàn)腦、平板等電子設備的外(wài)殼、內部零部件,可防止靜電積累導致的電路故障、屏幕靜電吸(xī)附灰塵等(děng)問題(tí),提升設備的(de)性能(néng)和可(kě)靠性。

光學領域:在(zài)光學鏡頭、顯示屏等表麵塗覆,既(jì)能(néng)防靜電又能保護光學(xué)元件,減少灰(huī)塵吸(xī)附,提高光學性能和顯示效(xiào)果。

醫療設備:醫療儀器、手術器械、醫療植入物等(děng)表麵使用防靜電 DLC 塗層,可防止靜電(diàn)對人體組織和電(diàn)子元件的不良影響,同(tóng)時利用其生物相容性(xìng)和耐磨性等(děng)特(tè)性,提高(gāo)醫療設備(bèi)的安全性和使用(yòng)壽命。

製備方法

物理氣相沉積(PVD):如濺射法、電弧離子鍍等,將碳源(yuán)物質蒸發或濺射到基(jī)底表麵形成 DLC 薄膜,通過控製工藝參數和(hé)添加特定元素,實(shí)現防靜電性能。

化學氣相沉積(CVD):如等離子增強化學(xué)氣相沉積(PECVD),在沉積過程中引入射頻等離子體(tǐ),增(zēng)強反(fǎn)應(yīng)活性,在相(xiàng)對較低的溫度下生長出具有防靜電功能的 DLC 塗層。

【責任編輯】小編

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