金剛石、類（lèi）金剛石薄膜（mó）技術，是指利（lì）用各種光學薄膜製作技術製作接近天（tiān）然金剛（gāng）石和人造單晶金剛石，有些範圍光（guāng）的吸收率低到 1%;具有很高的硬度、良好的導熱性、耐腐蝕性以及化學穩定性高--1000C(攝氏度)以上仍保持其化學穩定性等特性。類金剛石（shí）碳(DLC)塗層的主要成分為（wéi）碳是一種兼有高（gāo）硬度（dù）和（hé）優異摩擦性能的非晶體硬質薄膜，一（yī）種非（fēi）晶亞穩態結（jié）構，DLC膜的成份主要（yào）指sp3鍵和sp~2鍵，還可能含有一些雜質相如C-H等

一（yī）、DLC薄膜（mó）性能

1、機械性能:高硬（yìng）度和高彈（dàn）性模量、優異的耐磨性、低摩擦係

2、DLC膜中氫的含量超過（guò）40%門限時（shí）能獲得很低的摩擦係數，但過多的氫存在將降低膜與基（jī）體的結合力和表麵硬度，使內應力增大。

3、電（diàn）學（xué）性能:表麵電阻高化學惰性大光學性能:DLC膜在可見光區通常是吸收的，在（zài）紅（hóng）外區具（jù）有很高的透過率（lǜ）

4、穩定性;亞穩（wěn）態的材料，熱穩定性很差， 400攝（shè）氏度

二、DLC薄膜（mó）應用

1、機械應用

用於防止金屬化學腐蝕和劃傷方麵，磁介質保護膜（mó）

2、電子領域的應用

ULSI芯片的製造:光刻電路（lù）板的掩膜ULSI的BEOL(線後端)互聯結構的低K值的材料碳膜和DLC膜交替出現的多層結構（gòu）構造（zào）共振隧道效應的多量子阱結構DLC可（kě）作（zuò）為平麵板場發射顯示FED的電子發射（shè）器

3.光學領域的應用

用在鍺光學鏡片上和矽太陽能電池上作為減反射（shè）膜塑料和聚碳（tàn）酸脂等低熔點材料組成的光學透鏡表麵抗磨損保護層DLC膜為性（xìng）能極佳的發光材料（liào）之一: 光學隙帶範圍寬，室溫下（xià）光（guāng）致發光和電致發光率（lǜ）都很高

4.醫學領（lǐng）域的應用

在人工心髒瓣膜的不（bú）鏽鋼或欽合金表麵沉積DLC膜（mó）能同時滿足機械性能、耐腐蝕性能和生物相溶性要求，人工關節承受麵的抗（kàng）磨層

三、DLC薄（báo）膜製備方法

物理氣相（xiàng）沉積

1、離子束沉積(IBD):采用等離子（zǐ）體濺射石墨靶形成大量的碳離（lí）子並（bìng）通過電磁場加速使碳離子沉（chén）積於基體表（biǎo）麵形成DLC膜

2、濺射沉積 特點（diǎn）:沉積的離子能量範圍寬，主要分為: 直流（liú）濺射、射頻濺射、磁控濺射

3、磁過濾（lǜ）陰極弧沉積

4、脈衝激光沉積(PLD):

多（duō）功能的工藝方法（fǎ），可以用來沉積從高溫超導體到（dào）硬質塗層等多種不同性質的（de）材料。