PVD薄膜沉積速度快、附著力強、衍射性能好、應用範圍廣。DLC主要采用PVD或PACVD工藝,在100℃~300℃的溫度下合成,具有良好的耐磨性(xìng)、潤滑性,且(qiě)具有電氣絕(jué)緣、化學(xué)穩定性和光透性(xìng)。
DLC塗層,即類金剛石塗層,是一種可實現無(wú)油自潤滑的塗層,它是一類性質(zhì)近(jìn)似於金剛石,具有高(gāo)硬度,高電阻率,良好光學性能(néng)等,同時又具有自身獨特摩擦學(xué)特性的非晶碳薄膜。是一種在微觀結構上以金剛(gāng)石鍵結合(hé)的碳超過總碳量30%的非晶碳膜的統稱(chēng)。
DLC塗層特點:
1、具有低的摩擦係數<0.06,適合用於高潤滑、減摩要求領域;
2、具(jù)有極高的表麵(miàn)電阻,適合(hé)用於高阻值和高耐蝕領域;
3、硬度2000-5000HV可調,適合耐磨領域;
4、具有優越的生物相容性,環(huán)保無(wú)毒,可(kě)應用於醫療食(shí)品領域;
5、表麵光潔,粗糙度、對有色(sè)金屬、塑料、橡膠、陶瓷等均有良好的抗粘結和(hé)防咬合(hé)性能;6、可在(zài)各種鋼鐵、鈦合金、鋁合金、硬質合金等(děng)材(cái)料(liào)上沉積獲得HF1-HF3級結合力。
DLC塗(tú)層還具有良(liáng)好的(de)自潤滑性能,使其(qí)在摩擦應用中(zhōng)摩擦因數(shù)較小(xiǎo)。
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