1、硬度及（jí）彈性模量。

類金（jīn）剛（gāng）石塗（tú）層（DLC），是一種四麵非（fēi）晶體碳,其sp3鍵含量為80%~90%，sp³與sp²鍵的比值較高，膜層內的成分對膜層的硬度有一（yī）定的影響， Si、N的摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高的彈性模量，雖低於金剛（gāng）石（110GPa），但明顯高於一般金屬和陶瓷的彈性模量。

2、內應力和結合強度。

薄膜的內應力和結合強度是決定薄膜的穩（wěn）定性和使（shǐ）用壽命（mìng），影響薄膜性能的兩個重要因素，內應力高和結合強度低的DLC膜（mó）容易在應用中（zhōng）產（chǎn）生裂紋（wén）、褶皺，甚至脫落，所以製備的DLC膜最好具有適中的壓應力和較高的結合強度。大部分研究表明，直接在基體上沉積的DLC膜的膜基（jī）結合強度（dù）一般比（bǐ）較低，通過采用Ti\TiN\TiCN\TiC中間梯度過渡層的方（fāng）法提高DLC膜與基體的結合強度，在模（mó）具鋼上沉積DLC膜的結合強度達44N-74N，製備的膜導總體厚度可達5um。

3、摩擦性能
DLC膜（mó）不僅具有優異的耐磨性，而且具有很低的摩擦係數（shù），一（yī）般低於0.05，是一種優異的（de）表麵抗（kàng）磨損改性膜。DLC膜與傳統（tǒng）的硬質薄膜相比，在摩擦係數方麵（miàn）具（jù）有（yǒu）明顯（xiǎn）優（yōu）勢，這些傳統硬質薄膜的摩擦係數都（dōu）在0.4以（yǐ）上。因此，DLC膜有可能在許（xǔ）多摩擦學領（lǐng）域（yù）替代（dài）這些傳統硬膜。製備的摻金屬（shǔ）DLC膜具（jù）有良好的抗摩擦磨（mó）損性能及低達0.13-0.15的摩擦係（xì）數。

像微型機械驅（qū）動器具有運動的（de）部分，如（rú）微型發動機、齒輪、軸承，在運行（háng）過程（chéng）中（zhōng）會經曆表麵的緊密接合。在微尺度下，粘性剪切力特（tè）別高，所以液態（tài）潤滑劑不再是降低摩擦的有效途（tú）徑。以Si為基礎的微型電動機、微型發動機僅能正常運行幾分鍾（zhōng）接著就會（huì）因為摩擦而（ér）導致崩潰。DLC塗層擁有很（hěn）低的摩擦（cā）係數並且磨耗率(每單位滑動距離的磨耗量)也很低，使它（tā）們成為MEMS設備理想的固態潤滑劑。實驗（yàn）階段的線性電動機，滑動（dòng）件表麵覆蓋了5~15nm厚的DLC層，延長了部件的使用壽命至(15~80）×106個周期。盡管大多數的MEMS馬達並不應用於腐蝕性的空氣環（huán）境中，但它們還是會通過物理吸附作用來接觸到外（wài）界腐蝕環境，這個過程則會使材（cái）料的摩擦耐磨性能產生（shēng）相當大的波動。四麵體非（fēi）晶碳膜(ta-C)在這方麵的表現（xiàn）比含（hán）氫非晶碳膜(a-C：H)優越，它們的摩（mó）擦係數在（zài）真空及幹燥環境下較高，但卻在相當的範圍內表現得很穩定，即使在濕度增加的環境中也沒有顯（xiǎn）著增加。

4、耐腐蝕性
純DLC膜具有優異的耐蝕性，各類酸、堿甚至王水都很難侵蝕它（tā）。但摻雜有其他元素的DLC膜的耐蝕性有所下降，這是由於摻雜的元素首先被侵蝕，從而破壞了膜的連續性所致。